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FISO光纤位移传感器

光纤位移传感器是将薄膜Fizeau干涉仪安装在移动的手柄上,干涉仪类似于空间分布的法布里-珀罗腔,其中腔长在横向存在变化。光纤的端面正对着干涉仪的表面,干涉仪的表面会相对于光纤移动。
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